大型超高真空插板阀

主要用途

此系列阀门为气动驱动方式，在结构上设计合理，具有动作平稳、冲击振动小、使用可靠、密封性能好和寿命长等优点，是大型真空设备自动化首选阀门之一。

产品特点

采用多摆杆均匀分布支撑结构，阀门开启冲击振动小，噪声低；

四滚轮支撑运动机构，动作平稳，运动噪声小；

动密封采用波纹管密封，其它密封件为氟橡胶，密封可靠；

阀体采用不锈钢内部焊接，漏率小。

主要参数

用范围：

1×10^-6Pa～1.2×10⁵Pa
打开时插板上的压差：

≤1×10³Pa任意方向

阀体和阀座漏率：

1.3×10^-7Pa·L·s^-1

建议首次维修前循环次数：

10，000次

安装位置：

驱动体水平或垂直汽缸在上（特殊安装可定做）

电源：

-气动驱动：交流220V 50Hz，6W或直流24V，3W

（除了上述规格外，特殊规格可定做）

压缩空气（只适用于气动）

0.4～0.7MPa

阀门开启或关闭时间

根据阀门通径而定；

阀门位置指示

带有启闭位置指示开关（磁性开关）

阀体烘烤温度：

打开时≤200℃；关闭时≤150℃

阀门的介质：空气及非腐蚀性气体

规格尺寸