纳米位移平台,真空纳米位移台由中国领先的进口光学精密仪器旗舰型服务商-孚光精仪进口销售,先后为北京大学,中科院上海光机所,中国工程物理研究院,航天3院,哈工大,南开,山东大学等单位提供优质进口的纳米位移平台,真空纳米位移台,纳米位移台.
这款纳米位移平台是美国进口的高速高精度真空纳米位移台,它采用先进技术设计, 具有单轴或精密的双轴配置两种选择, 适合高真空环境和非磁性定位应用.
美国进口高精度低价格系列纳米定位台,采用了陶瓷伺服电机驱动,非常适合要求精度达到纳米或压纳米的高精度和高重复精度的应用,例如:精密生命科学仪器、显微成像、纳米准直、微纳加工、光学精确定位等。
X-TRIM 系列纳米位移台特色
10nm分辨率非接触线性编码系统
双驱动任选:线性伺服或压电驱动
高密度滚珠传导增加稳定性
超紧凑的单轴或双轴纳米位移台
紧凑型封装
可真空使用
超强工作能力,大吞吐量
采用无铁芯直接驱动直线电机,驱动轴位于纳米位移台的中心线, 这种设计消除了非中心驱动导致的偏航,空回等问题.
纳米位移台集成了一个高分辨率(12.5nm)非接触式线性编码器,它为闭环的伺服系统工作操作提供了精密反馈, 它的标准配置就可以提供纳米精度的定位.
纳米位移平台使用能够了精密的滚珠导向系统确保了位移平台高精度性能和严格的轨迹控制。
纳米位移平台也适合OEM使用,它具有较低抛面和较小尺寸,采用模块化设计,用户可堆叠使用创建多轴多部件系统。
这款纳米位移平台使用了非接触式直接驱动技术,提供坚固,精确,高速的定位,满足高频率大工作量的需要。纳米定位平台使用了先进的无铁直线电机直接确定技术,确保最优异的纳米级定位性能。
这款纳米定位台提供了高速度,高精度,高分辨率,高性能的卓越表现。它与传统的丝杠驱动或压电驱动相比,具有更大的工作效率和吞吐量。
参数
行程(mm): 25和50mm(单轴或双轴)
驱动系统: 无铁芯直线电机或陶瓷伺服电机
最大加速度: 由负载决定
最大速度: 200mm/s (无负载时)
最大推力: 24N
最大负载: 2Kg
精度: +/-1um/25mm
TTL分辨率: 1-100nm/脉冲
构造材料: 铝合金主体, 灰色氧化镀膜
重复精度: 5倍精度
XT 25 | XT 50 | XT 2525 | XT 5050 | |
Travel Length (mm) | 25 mm | 50 mm | 25 x 25 mm | 50x 50 mm |
Trajectory Control | ||||
Accuracy | ||||
Linear Encoder | ± 1.0 μm | ± 2.0 μm | ± 2.0 μm | ± 4.0 μm |
Straightness/Flatness | ± 1.0 μm | ± 1.0 μm | ± 2.0 μm | ±2.0 μm |
Yaw/Pitch/Roll | 5 arc-sec | 5 arc-sec | 10 arc-sec | 10 arc-sec |
2 axis system | ||||
Orthogonality | ||||
Standard Grade | NA | NA | 5 arc-sec | 5 arc-sec |
High Precision | NA | NA | 2 arc-sec | 2 arc-sec |
Extra High Precision | NA | NA | 1 arc-sec | 1 arc-sec |