法拉第杯用于精确测量SEM、MicroProbe或FIB的束流。在仪器系统上选择单点模式，聚焦使电（离）子束进入法拉第杯的100μm光阑。光阑下方的空腔吸收了几乎了所有的电（离）子，设计的吸收效率为98.14%以上。将法拉第杯置于样品台上，使用仪器配备的束流计（Keithley Pico-ammeter）即可测试或显示吸收束流。
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