真空系统备件
当等离子体开启时，每三个月检查泵油液面高度。
保持泵油液面在最高刻度线和最低刻度线之间。
在正常使用条件下，大约每六个月更换一次泵油。
订货信息：
真空系统备件
| 说明 | 单位 | 7700 部件号 | 7500 部件号 |
| 用于 E2M18 的油雾过滤网元件 | — | 1535-4970 | 1535-4970 |
| 用于 E1M18/E2M18 的油雾过滤网元件 | — | 3162-1056 | 3162-1056 |
| 真空室的 O 形圈，Viton | — | 5042-4790 | 5042-0901 |
| 用于油雾过滤器的气体元件 | 5/包 | 5063-9153 | 5063-9153 |
| 前级管泵（旋转泵）油，4 升 | 1加仑 | 6040-0798 | 6040-0798 |
| 前级管泵（旋转泵）油，Inland 45，1 L | 1 升 | 6040-0834 | 6040-0834 |
| 前级泵油（Fomblin06/6）1 升用于强酸样品 | 1 升 | 5069-4478 | 5069-4478 |
| 潘宁规的电极组件包 | — | — | G1820-81013 |
| 潘宁规规管 | — | — | G1820-81012 |
| 放空阀的 O 形圈，Viton | 2/包 | — | G1833-65332 |
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