中等分辨率测试标样

                           枝状结构的各种空隙可用于间距的测试，而其表面形貌则可应用在灰度水平测试。标样不具磁性、在真空及电子束作用下稳定，勿需表面镀膜。最适宜在探针大小为25－75nm时使用。                        

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