产品特点：
真空系统备件
* 当等离子体开启时，每三个月检查泵油液面高度
* 保持泵油液面在最高刻度线和最低刻度线之间
* 在正常使用条件下，大约每六个月更换一次泵油
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用于E2M18 的油雾过滤网元件 1535-4970 | 用于油雾过滤器的气体元件 5063-9153 |
订购信息：
| 真空系统备件 | |||
说明 | 单位 | 7700部件号 | 7500部件号 |
| 用于E2M18 的油雾过滤网元件 | 1535-4970 | 1535-4970 | |
| 用于E1M18/E2M18 的油雾过滤网元件 | 3162-1056 | 3162-1056 | |
| 真空室的 O 形圈，Viton | 5042-4790 | 5042-0901 | |
| 用于油雾过滤器的气体元件 | 5/包 | 5063-9153 | 5063-9153 |
| 前级管泵（旋转泵）油，4 升 | 1 加仑 | 6040-0798 | 6040-0798 |
| 前级管泵（旋转泵）油，Inland 45，1 L | 1 升 | 6040-0834 | 6040-0834 |
| 前级泵油（Fomblin06/6）1 升用于强酸样品 | 1 升 | 5069-4478 | 5069-4478 |
| 潘宁规的电极组件包 | G1820-81013 | ||
| 潘宁规规管 | G1820-81012 | ||
| 放空阀的 O 形圈，Viton | 2/包 | G1833-65332 | |
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