大面积扫描开尔文探针系统配件

大面积扫描开尔文探针系统配件能够在垂直方向移动开尔文探针实现电动控制开尔文探针与样品的距离。 样品安装到真空吸盘上，真空吸盘可带着样品移动150x150mm位移，从而实现开尔文扫描探针系统大面积扫描样品表面。

大面积扫描开尔文探针系统配件特色:

• 电动控制开尔文探针与样品的距离

• 电动控制样品XY移动范围150 mm x 150 mm

• 具有编码器的主动定位定位追踪系统

• Z方向步进大小: 625 nm

•  X - and Y-方向: 5 μm / microstep 

• 功函分辨率:: < 1 meV with 1.4 mm tip diameter on metals

• 最小的探针直径: 0.1 mm

• 集成法拉第防护功能

• 框架表面镀金

• 开尔文探针头采用纯金工艺

• 最大外形尺寸: 50 cm (W) x 60 cm (D) x 25 cm (H)

• 最大样品尺寸: 150 mm x 150 mm

• 真空样品吸盘

• 包含参考样品标准: HOPG, Au on Si, Al/Au-edge, Potential Check

• 可选配温度和湿度传感器