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扫描电镜电子束穿透成像效应 大作用区越小在精细电子显微分析中，往往通过蒙特卡洛模拟来判定电子束样品作用区及各种散射信号取样空间。 为表征微观表面...样品且碳质结构表面SE信号为反差主导。10kv，电子束穿透深度大约为2微米，应该没有穿透中心的炭黑部位，... -
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【原创】再次讨论电子束辐照导致Ag穿孔的原因 后颗粒被打出了个洞。文献上说电子束辐照效应有几种，1）电子束加热，2）碰撞位移；3）离化分解；...辐照增强原子扩散。要使Ag位移电子束的能量要高于800 keV; 离化分解主要出现在化合物电子束加热和辐照增强原子扩散这两项我... -
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【求助】关于运用EDS的“点”分析时，轰击表面的电子束束斑大小问题 以后扩展的范围可能到微米量级，我认为“点”分析时电子束轰击到样品表面的时候束斑大小不可能在微米量级的，应该...结构表面而不发生偏离？虽然EDS分析结果可能会有含有电子束扩展后其它区域的元素特征（学校分析测试中心人员是这样认为... -
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可同时提供61条电子束的SEM，这样的神器你见过么？ 引导着获取一个个像素来形成样本的一组图像。ZEISS MultiSEM同时使用61条电子束，可同时获取61组图像。因此，利用ZEISS MultiSEM 505现在可以快速获取大面积的... -
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【原创】EDS成分分析和电子束作用范围 又是多少呢？都和什么因素有关？另一个问题是电子束的与样品的作用范围会影响EDS成分的定量分析，如果要...分析的最小颗粒是多大，其问题实际上是否是问电子束的作用范围，如果电子束不超过这个颗粒，其分析的成分是否就是这个颗粒的成分...
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要求较低，图像拼接时会遇到边缘畸变大而无法拼接。Navigator-100基于半导体工业级电子束检测设备理念设计，畸变小于0.1%。<
2020-11-09 10:47:44
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半导体设备巨头ASML展出了可用于7纳米以上先进制程的深紫外曝光机DUV。有报道指出，虽然目前极紫外曝光机，俗称EUV光刻机仍受到美国的技术封锁而无法出口，但...
2020-11-09 10:03:39
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套刻精度，主要通过结合激光干涉仪来实现。目前，我国电子束曝光机严重依赖进口，但国外已禁止对中国出售最新型号的...，韩立结合在电工所多年的电子束曝光技术研发经历和应用推广情况，深入探讨了如何在电子束曝光机研制中取得突破，提出了...
2020-11-06 09:59:35
