SEMI-KLEEN等离子清洗仪是PIEScientific公司的主要产品，可清洗各类型电子或者离子显微镜，深紫外光刻机，电子光刻系统等真空仪器，以及安装在仪器里面的样品。PIE公司致力于开发等离子技术在电子离子成像和微刻应用上研究。公司的创始人在劳伦斯-伯克利国家实验室从事多年的等离子源研究，然后在最大的半导体集成电路生产检测仪器厂商从事十多年的高分辨率高速扫描电镜仪器研究。在这个行业多年的研究经验让我们越来越认识到污染对电镜成像影响的重要性。所以我们依靠在等离子行业和电镜行业多年的经验，开发出远远优于现有产品的远程等离子清洗仪