位于美国麻省Sudbury市的ARRADIANCE公司，成立于2003年，其极具特色的台式ALD系统，小巧紧凑，且标配热壁式加热，是对复杂3D集体进行均匀原子层沉积的理想选择，因此其用户包括哈佛、麻省理工、普林斯顿、阿贡国家实验室、中科大等国际国内知名院校。 http://www.qd-china.com/products2.aspx?id=282