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Plasma-Therm是致力于PECVD/HDPCVD/RIE/ICP/DSE的世界知名设备提供商，产品涵盖2”~12”主流干法刻蚀/PECVD工艺，广泛应用于半导体、MEMS、三五族(GaAs/SiC/CPV)、LED、SOI及半导体后段TSV领域
