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中国科学院物理研究所

北京市高校

中国科学院物理研究所拥有软磁特性自动测量装置、高分辨显微共焦光谱仪、光谱型激光共聚焦荧光寿命显微镜、电子自旋探测器、高电压电子束曝光系统、光谱椭偏仪、低能高分辨率角分辨光电子能谱仪、分子束外延系统、综合物性测量系统(PPMS)、超低温恒温器系统等科研仪器。
中国科学院上海微系统与信息技术研究所

上海市高校

中国科学院上海微系统与信息技术研究所拥有扫描电化学显微镜、感应耦合等离子刻蚀设备、片上测试系统、模塑封压机、多功能倒扣焊机、电子束纳米精确成膜制备系统、光波器件分析仪、新型SOI材料高低温可靠性测试设备的组成、磁控溅射设备、纳米生物材料和器件测试系统等科研仪器。
中国科学院半导体研究所

北京市高校

中国科学院半导体研究所拥有拉曼光谱仪（谭平恒）、SP530全自动磁控溅射镀膜系统、分子束外延系统、飞秒瞬态吸收光谱仪（张俊）、PECVD(等离子增强化学气相淀积)、裂片机、激光直写曝光机、ICP宝石刻蚀机、激光柔性加工设备、步进式光刻机等科研仪器。

仪采通

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