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AXIC电感耦合深度反应离子蚀刻ICP
南通宏腾微电子技术有限公司
Axic反应离子刻蚀RIE,等离子增强化学气相沉积PECVD
AXIC低温低损伤等离子体增强化学气相沉积(ICP PECVD)