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MTK单片清洗设备是以药液，纯净水，PVA刷等对碳化硅晶圆(SiC)等表面进行清洗，从而达到清除表面尘粒及金属污染物为目的高性能清洗设备。由清洗设备主体，药液供给设备，臭氧水生成装置(可选)，碳酸水生成装置(可选)构成。
