北京科益虹源光电技术有限公司（以下简称“科益虹源”），成立于2016年7月，注册资本20160万元。股东包括亦庄国投、中科院微电子所、国科科仪、徐州光远、哈勃科技、核心团队等，是多元化资本构成的国有控股公司。 科益虹源是中国唯一、全球第三家具备光刻准分子激光技术全链条研发和产业化的公司，拥有一支涵盖光、机、电、控、测、系统、集成等技术开发和生产制造能力的230余人技术及管理团队，研发生产及办公场地面积约17000m2，其中百级及万级洁净间约3000㎡。 公司业务包括国产自研光刻曝光光源产品、进口高端光源技术服务、集成电路检测光源、特种高压电源、高端光源核心元器件等产品销售和技术服务。已搭建超过60个技术研究、产品研发平台，并攻克超过80项高端光源核心关键技术，申请专利311项，授权135项（其中国内专利122项，国际发明专利13项）。已通过质量管理体系GB/T19001（ISO9000）认证、环境管理体系GB/T24001（ISO1400）认证和知识产权管理体系GB/T29490-2013认证。 科益虹源是国家级高新技术企业，承担多项国家02专项重大专项任务和北京市重大项目。2016年荣获中科院科研成果转化特等奖；2018年荣获中关村-中科院成果转化最具潜力奖、北京双创周“十大双创硬科技示范成果”；2019年获批北京市中关村前沿技术企业；2020年“40W4kHzKrF光刻准分子曝光光源”被评定为北京市首台（套）重大技术装备；2022年北京市专精特新“小巨人”企业。 科益虹源秉承“服务国家战略，实现产业价值”的使命，致力于打造高端光源及高端电源领域的自主创新型企业，打破国际垄断，成为具备国际竞争力的知名企业。