Veeco(之前称之为CambridgeNanotech)已经有15年以上的ALD研发生产经验。2003年CambridgeNanotech成立于哈佛大学，05年搬到Boston并生产出ThermalALD-Savannah,之后生产出PlasamALD-Fuji、批量生产ALD-Phoenix。2017年被Veeco收购，并更新了BatchHVMALD-Firebird。至今为止，Veeco在ALD设备已有15年多的经验，全球已安装五百多台ALD设备。