南京航空航天大学高新技术研究院，所需高精度多功能镀膜仪项目进行招标，现邀请具备相应资质的单位前来投标。
1 项目概述
高精度多功能镀膜仪项目及相关服务。
2 招标设备清单及技术要求
2.1设备清单
u 高真空离子溅射/蒸镀一体化镀膜仪
u 内置式分子泵+外置无油机械泵高真空系统
u 金属蒸发快插头
u 碳蒸发头
u 膜厚测量仪(FTM 膜厚监控)及FTM晶振片
u 其他线缆和选购靶材
2.2技术要求
u 同时支持离子溅射、热蒸镀、碳蒸镀三种镀膜方式，镀膜头可在数秒内快速更换，自动智能识别镀膜头类型，并显示相应的操作设置。
u 离子溅射
镀膜精度，超高分辨率精细镀层，标配直径57mm圆片铬靶,Cr颗粒小于0.5nm。
溅射电流0-150mA,可以设定厚度或设定时间控制。
最长溅射时间60min。
可预设贵金属溅射模式或易氧化金属溅射模式，可溅射铱、金、铂、铝、铜、钛、镍、钨、金钯合金、ITO等多种靶材。
u 碳蒸发头 无纹波直流电源控制的脉冲蒸发头，脉冲电流1-90A。
u 金属蒸镀 钨丝篮内金属热蒸发镀膜
u 样品台：直径50mm，转速8-20RPM，靶面至样品台距离可调范围为38-79mm.
u 真空系统：>70L/s分子泵 + 50L/m两级无油机械泵，全自动抽真空和全自动操作。
u 极限真空度：<10-5mbar
u 真空度测量：皮拉尼真空计，测量范围1000mbar到10-4mbar
u 具有实时膜厚测量功能和真空检测
u 主机免费保修三年
3 投标要求：
1) 投标书中须含技术响应偏离表，列明产品品牌、型号、单项报价及总价；如有必要，需方将先进行技术评审；
2) 本项目的总报价须为所有设备包含运费、现场改造费、安装调试费、培训和售后服务费的所有费用总计；如是进口产品，应报两个总价格：按外币报免税价和按人民币报含税价。
3) 本项目所列技术要求，应视为保证涉及系统运行所需的最低要求，如有遗漏，投标人应予以补充，否则，一旦中标将认为投标人认同遗漏部分并免费提供。
4) 合同签订后，本项目设备两个月内完成供货且安装调试完毕。
5) 项目必须提供完善的培训和售后服务。提供培训内容至少包括：镀膜仪基本使用及参数选择、各种镀膜方式的应用、各种靶材的切换和相应条件选择等，培训至少保证4人以上能完成设备的日常使用和维护。培训产生的相关费用均包含在投标总价中，投标人应根据上述要求在投标书中以单独列表形式列明费用清单。
6) 任一投标人中标后，中标的投标人须在自中标结果公布起三十日内与招标方签订销售合同并使之生效。合同的主要条款包含该投标人在投标书中对设备及其性能指标的所有陈述以及该投标人的授权代表在评标现场的书面或口头承诺。
7) 投标的产品免费质保期不少于三年。
4 报名时间、地点及联系电话
报名时间：2011年4月8日—4月15日（工作日时间：早上8：00——12：00，下午14：00——17：00）
递交投标文件地点：南京航空航天大学明故宫校区综合行政楼322室。
投标人如对本招标文件具体内容、技术规格、参数及其他要求，需要咨询时，请来电话联系。
联系人：周老师
电 话：025-84896397
有关本次招标活动的报名等具体问题，可来电话联系。
联系人：王老师 翟老师
电 话：025－84892959/84892542 传真：025－84892542
南京航空航天大学采招办