2021第十五届中国科学仪器发展年会（ACCSI2021）

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嘉宾介绍

姓名：韩立
单位：中国科学院电工研究所
职务：副所长
韩立，男，汉族，中国科学院电工研究所研究员。1988年9月考入兰州大学物理系金属物理专业。1992年9月考入兰州大学物理系半导体物理专业攻读硕士学位，1995年9月考入清华大学物理系固体物理研究所攻读博士学位。2000年4月在清华大学力学系热物理教研室进行博士后研究工作，研究的主要课题为利用扫描热显微镜进行微区热分析研究，2002年5月博士后出站。2002年7月~2003年3月在科学院电工所微纳电加工组从事微米/纳米加工和测量研究。负责电子束曝光设备的研制和高压电子束曝光特性的研究，2003年到现在作为课题组负责人负责科学院电工所电子束曝光技术组的科学研究。
目前任职：中国科学院电工研究所副所长、微纳加工技术研究部主任。2017年起任中国仪器仪表学会分析仪器分会关键部件专家组秘书长。
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