仪器信息网 3i讲堂激光干涉精密测量技术、仪器及应用

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64 2023-12-21

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激光干涉精密测量技术、仪器及应用

所属会议:第二届精密测量技术与先进制造网络会议

话题:制造业中的分析技术，助力强国制造

以传统激光干涉为引，介绍清华大学激光精密测量及应用团队在双频激光器、干涉仪及在光刻机中的精密测量应用，并拓展到空间引力波测量。针对传统干涉测量需要配合靶镜的局限性，提出激光回馈测量原理，实现了无靶镜纳米测量，攻克了航空航天、先进制造和国防安全领域的无靶镜测量难题，并开展了多种应用研究，包括：位移测量、激光侦听、高精度激光测距及雷达技术等。