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仪器信息网 3i讲堂 先进封装工艺中三维几何尺寸监控的挑战与布鲁克白光干涉技术的计量解决方案
1 0 投诉 分享 56 2023-12-21
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先进封装工艺中三维几何尺寸监控的挑战与布鲁克白光干涉技术的计量解决方案

所属会议:第二届精密测量技术与先进制造网络会议 话题:制造业中的分析技术，助力强国制造 话题:半导体
在半导体行业路线图对不断缩小晶体管几何尺寸的快速追求的推动下，PCB/HDI尤其载板制造商正在通过更薄的高密度互连，将多芯片模块（包含芯粒）借由基板上开发更小、更密集的功能。在大批量生产过程中，对于更细线宽的铜线（Line）、更小开口的孔洞（Via）和深沟槽（Trench）及层间对位偏差（Overlay）等三维几何尺寸的测量面临多种新的挑战。而具备计量功能的 ContourSP 大型面板高效测量系统专门设计用于在制造过程中测量载板面板的每一层，确保在生产过程中最短的工艺开发时间、最高的产量、最长的正常运行时间和最稳定的测量结果。此外，本报告也会简略介绍白光干涉技术在晶圆封装时再布线工艺（RDL）监控中的典型应用。

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