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仪器信息网 3i讲堂聚焦离子束及飞秒激光微纳加工

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168 2022-12-26

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聚焦离子束及飞秒激光微纳加工

所属会议:第三届半导体材料与器件研究与应用网络会议

聚焦离子束、飞秒激光微纳加工，由于其精度高、直写成型和灵活性高等优势，成为重要的微纳制造技术。随着纳米功能器件制造需求和制造难度的不断增加，对基于聚焦离子束和飞秒激光制造技术提出了许多新的挑战。报告结合加工工艺优化、光谱表征以及原子尺度模拟等研究手段，分享两种先进制造技术在制备微纳光学功能器件、原子尺度点缺陷色心、宽禁带半导体功能结构中的应用。

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徐宗伟

天津大学精密测试技术及仪器全国重点实验室

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