工业机器人广泛应用于制造业中，采用测量仪器对机器人的运动精度进行标定补偿可大幅提高其运动精度。激光跟踪仪是当前工业机器人空间运动精度检测的主要仪器，但其研制成本极高，普及应用至工业机器人制造与应用各个场合比较困难。本报告提出了面向工业机器人等制造装备检测的被动跟踪测量方法，具有测量原理简单、研制成本低等特点，期望能广泛应用于工业机器人等制造装备精度测量领域。报告详细介绍了被动跟踪测量仪器的基本原理、误差分析与补偿方法及单项误差的检测方式等，并通过坐标测量机进行标定，提升仪器的测量精度。最后，采用本仪器与激光跟踪仪进行了测量比对，验证了其在工业机器人精度测量中的应用能力。 此外，报告还对项目组研制的用于制造装备导轨运动精度测量的低成本、小型化多维运动误差测量仪器，及基于阿贝与布莱恩原则的数控机床空间误差分析方法进行了详细介绍。