仪器信息网 3i讲堂电子显微分析在半导体及芯片失效分析中的应用

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184 2022-10-13

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在更小的尺度、更极端的应用条件下去理解并调控材料的“结构-性能”关系，是材料科学家的终极奋斗目标。聚焦离子束显微镜和透射电子显微镜作为微观尺度样品加工和表征测试的主要手段，本报告重点介绍利用电子显微分析在半导体及芯片失效分析中的应用。

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长沙理工大学金属研究所

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