仪器信息网 3i讲堂 1.GB/T 34326-2017 表面化学分析深度剖析 AES和XPS深度剖析时离子束对准方法及其束流或束流密度测量方法<br>2.GB/T 32999-2016 表面化学分析深度剖析用机械轮廓仪栅网复型法测量溅射速率

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1263 2021-06-04

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1.GB/T 34326-2017 表面化学分析深度剖析 AES和XPS深度剖析时离子束对准方法及其束流或束流密度测量方法<br>2.GB/T 32999-2016 表面化学分析深度剖析用机械轮廓仪栅网复型法测量溅射速率

所属会议:第五届表面分析技术应用论坛暨X射线光电子能谱（XPS）国家标准宣贯会

报告主要介绍使用俄歇电子能谱(AES)和X射线光电子能谱(XPS)进行深度剖析测量时，溅射样品用惰性气体离子束的对准和刻蚀速率测量的方法。其中涉及使用法拉第杯测量离子束流和利用离子诱导的二次电子成像进行粒子束对准的标准方法（GB/T34326-2017），同时还包括用机械轮廓仪栅网复型法测量溅射速率的标准方法（GB/T 32999-2016）。