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利用氩离子研磨技术制备完美EBSD样品

地矿光学仪器及设备

会议时间: 2017-06-30 14:00

主讲老师: 林初城 | 林初城 |

所在公司: 徕卡显微系统(上海)贸易有限公司

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报告介绍 主讲老师

报告介绍

微电子材料样品在做失效分析扫描电镜图像拍摄之前，需要准确研磨到目标位置，尽可能的避免样品研磨面的应力损伤和污染，以便获得清晰的样品断面形貌，或进行元素定性定量分析等。

本次讲座介绍如何机械研磨、离子束切割抛光方式和超薄切片方式制备扫描电镜样品。徕卡精研一体机TXP可以对样品进行精确定位研磨，高效率的处理以往难以制备的样品。徕卡三离子束切割抛光仪TIC3X可对样品进行无应力损伤和无磨料污染的氩离子束切割抛光，确保样品适合高倍率扫描电镜图像观察，或这EBS和EBSD分析。徕卡超薄切片机UC7是利用钻石刀对样品进行精细准确切割，非常适合于铜、铝和高分子膜层的截面制备。

主讲老师

林初城

林初城

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中国科学院上海硅酸研究所测试中心工程师，长期从事测试工作，对SEM，EDS，EBSD及相关制样技术有深入研究。在样品测试方面有丰富经验，可以根据不同需求制备各种高难度样品协助研究。
林初城

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中国科学院上海硅酸研究所测试中心工程师，长期从事测试工作，对SEM，EDS，EBSD及相关制样技术有深入研究。在样品测试方面有丰富经验，可以根据不同需求制备各种高难度样品协助研究。

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主办单位: 徕卡显微系统(上海)贸易有限公司

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利用氩离子研磨技术制备完美EBSD样品

06月30日 14:00

微电子材料样品在做失效分析扫描电镜图像拍摄之前，需要准确研磨到目标位置，尽可能的避免样品研磨面的应力...

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