纳米台阶高度标准物质
标准物质编号:GBW13952
中文名称:纳米台阶高度标准物质
英文名称:暂无
应用领域:暂无
标准物质用途:校准仪器和装置;评价方法;工作标准;质量保证/质量控制;其他
保存条件: 在洁净环境中室温保存
使用注意事项:避免阳光直射,防止撞击。使用过程中注意不能用手触摸硅基片,特别是标记用来扫描校准的区域,要用合适的镊子来夹取。触控型的探针进行扫描时,应避免使用小探针时加载过大压力而造成划伤。例如在半径小于等于1 μm的探针上加载超过0.1mN的压力时会划伤硅片表面。
量值信息:
| 标准值 | 相对不确定度(%) | 单位 |
台阶高度 | 50.0 | 2.8 | 标称值(nm) |
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