Hprobe 晶圆级测试仪

Hprobe 晶圆级测试仪 主要特点 § 大范围面内和垂直场 § 磁场三维可控 § 旋转磁场 § 嵌入式传感器校准 ( Hall 传感器 ) § 自动化测试程序 § MRAM 参数提取软件 § 100mm~300mm 晶圆可测 § 兼容标准探针卡 Hprobe 测试仪是磁场下晶圆级表征及测试的首选工具。它采用专利的3D磁场发生器和最先进的、可定 制的、商业化硬件，为传感器到MRAM等磁性器件，提供完整的测试解决方案，该工具符合晶圆自动化 测试的标准。