太赫兹近场光学显微镜 — THz-NeaSNOM

德国Neaspec公司成功研发了一套易用使用且THz系统的空间分辨率达到30nm的实验设备，解决了一般THz光远场测量结果准确度经常无法满足对材料科学研究的问题。尤其是需要纳米分辨率的微细尺度材料分布研究（例如半导体芯片中各个组成：源极，漏极，栅极）的实验，起到了很关键的作用。它的空间分辨率优于30nm，具有专利设计的宽波段抛面镜，而且对针的要求并不苛刻，可使用商业化的AFM探针即可。