冷场发射透射电镜

1）电镜光源：冷场发射光源比其他电镜使用的肖特基热场发射光源能量发射度小，在TEM成像时相干性更好，图像质量大大提高；电子全息附件获得更好的相干性；在STEM成像时更容易汇聚，无论在高压还是低压都能获得高亮度的小束斑，同时EDS和EELS的空间分辨率提高，EELS进行化学状态分析的能力增强。因此在透射电镜的全部功能上都有改进和提高。 2）聚光镜汇聚方式：传统的聚光镜亮度与会聚焦同时控制，有时会相互干扰，无法达到最佳状态。新电镜采用四级聚光镜且亮度及会聚焦分开控制，很容易获得追加实验条件。 3）物镜汇聚方式：物镜上采用扫描方式，可以获得大范围的STEM-EELS； 4)进样方式：透射电镜最难和做容易损坏的是手动的进样方式，新手插拔样品杆经常造成仪器损坏。新仪器样品杆自动进入和退出，彻底改变了这个最容易出问题的环节，大大提高了仪器的长期稳定性。