新一代激光成像椭偏仪

新一代成像椭偏仪，采用激光光源，单色性好，测量准确。创新性地实现布鲁斯特角显微镜和成像表面等离子共振功能（全球仅此一家）。全球首次实现各种液相环境下进行椭偏分析（气液界面、液液界面、液固界面和气固界面）。引入离轴成像技术，实现斜角相平面全聚焦。独特的仪器对准架构，通过整个仪器测量光学部件的倾转实现样品对准。采用经典的消光法进行椭偏分析，独特的四区域平均法实现全球最高的椭偏精确度和准确度。全球最高的椭偏形貌分辨率（1微米）。全自动化仪器。独特的选区椭偏分析功能，使椭偏测量更具针对性和准确性。