磁悬浮2300型分子泵

国内首台磁悬浮分子泵，成功获得三大关键技术： 1、先进设计和制造工艺——本体 2、五自由度磁悬浮控制技术——悬浮 3、高速永磁电机驱动控制技术——驱动 具有完全自主知识产权，荣获发明专利30余项