GB/T 1551-2009数字式四探针测试仪硅单晶台式四探针电阻率测试仪 型号ZRX-25845

GB/T 1551-2009数字式四探针测试仪硅单晶台式四探针电阻率测试仪 型号ZRX-25845

概述

ZRX-25845型多功能数字式四探针测试仪是运用四探针测量原理测试电阻率/方阻的多用途综合测量仪器。该仪器设计符合GB/T 1551-2009 《硅单晶电阻率测定方法》、GB/T 1551-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流两探针法》、GB/T 1552-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流四探针法》并参考美国 A.S.T.M 标准。

仪器成套组成：由主机、选配的四探针探头、测试台等部分组成。

主机主要由精密恒流源、高分辨率ADC、嵌入式单片机系统组成。仪器所有参数设定、功能转换全部采用数字化键盘输入；具有零位、满度自校功能；电压电流全自动转换量程；测试结果由数字表头直接显示。本测试仪特赠设测试结果分类功能，最大分类10类。

探头选配：根据不同材料特性需要，探头可有多款选配。有高耐磨碳化钨探针探头，以测试硅类半导体、金属、导电塑料类等硬质材料的电阻率/方阻；也有球形镀金铜合金探针探头，可测柔性材料导电薄膜、金属涂层或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上导电膜（ITO膜）或纳米涂层等半导体材料的电阻率/方阻。换上四端子测试夹具，还可对电阻器体电阻、金属导体的低、中值电阻以及开关类接触电阻进行测量。配专用探头，也可测试电池极片等箔上涂层电阻率方阻。

测试台选配：一般四探针法测试电阻率/方阻配HAD-T-A或HAD-T-B或HAD-T-C或HAD-T-F型测试台。二探针法测试电阻率测试选HAD-T-K型测试台，也可选配HAD-T-D型测试台以测试半导体粉末电阻率，选配HAD-T-G型测试台测试橡塑材料电阻率。详见《四探针仪器、探头和测试台的特点与选型参考》

仪器具有测量精度高、灵敏度高、稳定性好、智能化程度高、结构紧凑、使用简便等特点。

仪器适用于半导体材料厂器件厂、科研单位、高等院校对导体、半导体、类半导体材料的导电性能的测试。

三、基本技术参数

1. 测量范围、分辨率（括号内为可向下拓展1个数量级）

电    阻：10.0×10-6 ～ 200.0×103  Ω,    分辨率1.0×10-6 ～ 0.1×103  Ω

         （1.0×10-6 ～ 20.00×103  Ω,    分辨率0.1×10-6 ～ 0.01×103 Ω）

电 阻 率：10.0×10-6 ～ 200.0×103 Ω-cm   分辨率1.0×10-6 ～ 0.1×103  Ω-cm

         （1.0×10-6 ～ 20.00×103 Ω-cm  分辨率0.1×10-6 ～ 0.01×103 Ω-cm）

方块电阻：50.0×10-6 ～ 900.0×103 Ω/□    分辨率5.0×10-6 ～ 0.5×103  Ω/□

         （5.0×10-6 ～ 100.0×103 Ω/□  分辨率0.5×10-6 ～ 0.1×103  Ω/□）

2. 材料尺寸(由选配测试台和测试方式决定)

直    径： HAD-T-A圆测试台直接测试方式 Φ15～130mm，手持方式不限

HAD-T-B/C/F方测试台直接测试方式180mm×180mm，手持方式不限.

长(高)度：  测试台直接测试方式 H≤100mm,    手持方式不限.

测量方位:  轴向、径向均可