LSV3-紧凑微加工系统
特性和规格:
机器类型 LSV3头部含数值孔径0,2 193nm镜头, 同轴照明及颜色聚焦。TTL 检视。
结构 黑色亚光处理,焊接钢框架,辉长岩基地,桥形结构,蜂巢形光学控制台,光学滑轨。
激光源 兼容ATL Atlex或相干Excistar XS准分子激光。
能量控制 AT4010 5-85%手动,外加通门控制
掩模的光束控制 动态系统镜面
掩模 机械线性顺序选择器
目标成像分辨率 1.5μm
目标区 达10J/cm2
零件支撑 TBD
零件移动 100×100mm 运动区域,150×150mm 选择范围
位置重复性 1μm
速度 200mm/s(受软件限制)
系统控制 工业PC, A3200 控制器,过程功率2010
Beath路径 管式,冲刷式
安全性 互锁功能,符合CE标准,轻型塔式
企业名称
筱晓(上海)光子技术有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人投资或控股)
信用代码
913101163987029680
成立日期
2014-06-26
注册资本
人民币1000.0000万元整
经营范围
从事“光电、通信、机械设备、电子、计算机、计算机网络”科技领域内的技术开发、技术咨询、技术服务,机电设备及配件,光电设备及配件,通信设备及相关产品,仪器仪表,电子元器件,计算机、软件及辅助设备,电线电缆,五金交电,建筑材料,日用百货销售,从事货物进出口及技术进出口业务,机电设备安装、维修,计算机软件开发。[依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动]
筱晓(上海)光子技术有限公司
公司地址
上海市青浦区佳杰路99号长三角漕河泾绿洲智谷A5栋三楼
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