TSI AeroTrak? 9110 型便携式粒子计数器的检测精度可达到 0.100 μm!这通过专利 HeNe 激光技术实现,该技术不但维护成本低而且信噪比提高。9110 型特别适于进行 ISO-14644-1 I 级和 II 级无尘室分类。 该仪器设计用于无尘室监测、工艺制程监测及过滤器测试应用领域。
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