技术特点:
MappIR和MAP300为工业半导体用户提供了一套高性价比、自动化的晶圆分析和质量控制工具,适用于Si的C\O含量分析、Si或SiC等的外延层厚度分析、BPSG分析,适合2″ ~ 12″(300mm)的wafer。
MappIR:2″ ~ 8″(200mm),MAP300:2″ ~ 12″(300mm)
透射、镜反射两种测量模式
随机附带AutoPRO控制软件,可自定义多达320个测试点(按12″wafer, 8mm光斑计算)
可选吹扫配置,消除环境中水和CO2干扰
兼容Bruker\Nicolet等绝大部分商业红外光谱仪主机
企业名称
北京博德恒悦科贸有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
110108011785230
成立日期
2009-03-26
注册资本
50
经营范围
技术推广、技术开发、技术转让、技术服务、技术咨询;销售自行开发后的产品、润滑油、金属材料、建筑材料、五金交电、化工产品(不含危险化学品及一类易制毒化学品)、机械设备、电子产品、通讯设备、计算机、软件及辅助设备、医疗器械I类、日用品、汽车零配件;仪器仪表维修;技术进出口、代理进出口、货物进出口。(企业依法自主选择经营项目,开展经营活动;依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动;不得从事本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。)
北京博德恒悦科贸有限公司
公司地址
北京市海淀区安宁庄路26号楼7层713
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