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核心参数
电子枪种类： 冷场发射
这是一台最新设计的聚焦离子束系统，具备高分辨率成像功能。它由电子束系统(SEM)和离子束系统(FIB)组成，可以进行材料的刻蚀，沉积和TEM制样。它可以进行实时（在刻蚀或沉积时）观察（SEM）以及其它分析。
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AURIGA 基本参数 |
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分辨率 |
SEM |
FIB |
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GEMINI column 1.0 nm @ 15 kV 1.9 nm @ 1kV |
Cobra column: 2.5 nm @ 30kV Canion column: 7nm@ 30kV |
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放大倍数 |
12x – 1000 kx |
300x – 500 kx |
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束流 |
4pA – 20 nA (80nm 可选) |
1 pA – 50 nA |
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加速电压 |
0.1 － 30 kV |
1.0 – 30 kV |
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发射器 |
热场(Schottky) |
Ga 离子源（LMIS） |
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气体注入器系统 |
a) 5个（Pt,C,W, 碘，绝缘体,氟化物等） b) 4个＋局部电荷中和器（可使用所有的标准探测器） c) 一个 d) 在使用局部电荷中和器时，可使用所有的标准探测器 |
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样品台 |
6 轴超优中心马达台 移动范围 X,Y ＝ 100 mm Z ＝ 55 mm Z” ＝ 10 mm 倾斜＝ -10 － 60度，旋转＝360度 连续 AWD(分析工作距离)＝5－8.5 mm |
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样品交换室 |
80 mm / 100 mm 手动样品交换 |
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探测器 |
高效环形 In-lens 二次电子探测器 Everhart-Thornley二次电子探测器 镜筒内置式 EsB背散射电子探测器（带0－1500V过滤网） 二次离子探测器（SESI） 固体背散射电子探测器 BF/DF STEM探测器 |
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样品室 |
330 mm(直径)，266 mm(高) 15个接口可安装 STEM,4QBSD,EBSD,EDS,WDS,SIMS,GIS系统，局部电荷中和器等 2个观察用CCD. |
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操作显示系统 |
基于Windows操作系统上的SmartSEM操作界面。 由鼠标，键盘，操作杆控制或控制板（可选） |
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企业名称
卡尔蔡司(上海)管理有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(港澳台法人独资)
信用代码
91310000607411770K
成立日期
1999-12-22
注册资本
美元200.0000万
经营范围
许可项目:第三类医疗器械经营。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动,具体经营项目以相关部门批准文许或许可证件为准)一般项目:为集团内企业品供投资经营决市,资金运作和财务管理,研究开发和技术支诗,商品采购销售及市场营销服务,供设链管理等物流运作。承接本公司集团内部的其享设务及境外公司的服务外包、员工培调与管理服务。区内以光学仪器、指告仪器、医疗器品、电子产品、及其他无学产品为主的仓理(除危险品),分批业务、检测、研发及相关产品的售后服务,国际贸品、转口贸品;区内企业间的置易及算易代理、无学仪器、精密仪器。第一类医疗器械、第二类医疗器械、电子产品、及其他光学产品为主的批发。保金代理(拍类除外);进出口及其他相关配套业务,区内商业性网单加工;区内商务咨询服务,光学仪备,销瓷仪器、医疗械、电子产品、及其他光学产品为主的经营性租赁。再生资源回收(不含围体度物,危险成物、报政汽车零需经相关部门批准的项目),(除依法须经批准的项目外,凭营限依法自主开展经营活动)
卡尔蔡司(上海)管理有限公司
公司地址
上海自由贸易试验区美约路60号
客服电话
公司名称： 卡尔蔡司(上海)管理有限公司
公司地址： 上海自由贸易试验区美约路60号 联系人： 显微镜咨询 邮编： 200131 联系电话： 400-803-1678
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