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核心参数
仪器种类： 飞行时间
SAI公司在一个紧凑仪器中开发了SIMS技术。仅需一个标准的主电源供操作，它可以置于任何其最应放置的位置。完全的计算机控制使得操作简便并且自动获取数据。
MiniSIMS是一种经济实用的表面分析方式。这种分析方法比联系SIMS分析实验室更快，更方便，低廉的资金和维护费用以及高样品产出，保证了每个样品的总费用要比使用传统的SIMS仪器减少了90%。并且具有三种分析模式：静态表面分析，元素深度分布及化学显微镜模式。
MiniSIMS系列的入门级仪器是MiniSIMS alpha。非常适合测定样品的特定元素及分子碎片。按照已知标准进行质量监控，在研究以及工艺优化中的多样品比较分析，该仪器非常高效。预置的分析条件使很多不同的操作者能够获得重复性的数据。通常每个样品的分析时间短至5分钟。
飞行时间质量分析器的引入使得MiniSIMS的性能跃升到一个新的水平。对未知样品的测定像测量已知组成那样简单，该功能使得MiniSIMS ToF尤其适合研究性应用。在失效分析中，比如污染鉴定，附加的细节能够准确地查明问题的确切原因。
应用范围：
1、薄膜
2、半导体
3、粘性物质
4、电子元件
5、包装材料
6、腐蚀材料
7、润滑材料
8、大学教学
9、催化剂，接触剂
10、表面包覆和处理
11、电极和传感器
| MiniSIMS 技术参数 | ||
| 型号 | MiniSIMS alpha | MiniSIMS TOF |
| 样品尺寸： | 12.5mm或100mm | 12.5mm或100mm |
| 真空度： |
基压 ＜1×10-6mbar |
基压 ＜1×10-6mbar |
| 质谱： | 四级杆 | 飞行时间 |
| 离子束： | 6keVGa | 6keVGa |
| 绝缘样品分析： | 辅助电子束 | 辅助电子束 |
| 质量数范围： | 300daltons | >1200daltons |
| 质量下限： | 3 | 1（氢） |
| 质量分辨率： | dm=1 | m/dm=650 |
| 灵敏度Mo/MoO: | >5kcps/nA | >5kcps/nA |
| 横向分辨率： |
导体10µm 绝缘体50µm |
导体10µm 绝缘体50µm |
| 纵向深度： | 对于电导材料可以达到5um | 对于电导材料可以达到5um |
| 深度分辨率： | 1-30nm，取决于分析深度及入射角 | 1-30nm，取决于分析深度及入射角 |
| 分析模式： | 静态、动态、成像SIMS | 静态、动态、成像SIMS |
| 样品装载时间： | 标准样品 < 3 minutes 大样品< 15 minutes | 标准样品 < 3 minutes 大样品< 15 minutes |
| 最大分析区域： | 对于导体4.5 mm x 4.5 mm | 对于导体4.5 mm x 4.5 mm |
| 一次测量离子种类： | 每次只收集质量数为某一数值的离子 | 同时收集所有二次离子 |
|
一次装载样品 数量： |
标准1，选件31 | 标准1，选件31 |
企业名称
天美仪拓实验室设备（上海）有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
91310000MA1J3R217H
成立日期
2019-09-05
注册资本
1000
经营范围
仪器仪表、机械设备及器具、电子设备、医疗器械Ⅰ类及上述商品的零配件的批发(涉及配额许可证管理、专项规定管理的商品按照国家有关规定办理);租赁仪器仪表;批发、零售II类医疗器械;售后服务;货物进出口、技术进出口、代理进出口;批发、零售第III类医疗器械。(批发、零售第III类医疗器械以及依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动。)
天美仪拓实验室设备（上海）有限公司 中国总部
公司地址
上海市松江区民益路201号16幢
客服电话
公司名称： 天美仪拓实验室设备（上海）有限公司 中国总部
公司地址： 上海市松江区民益路201号16幢 联系人： 天美 邮编： 201612 联系电话： 400-876-8980
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