产品种类: 非接触式轮廓仪/粗糙度仪
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SmartWLI-Prime双轴三维形貌轮廓仪
——配备0.1nm高分辨率 的小量程Z轴和小于100nm 分辨率的大量程Z轴
2015年11月, 德国WinWinTec公司再次向市场推出了一款由我公司代理的SmartWLI品牌的三维相貌轮廓仪,该产品将两种Z轴方向的移动控制模式整合在一起,是两种模式一体化,可以实现两种Z轴移动模式的自由切换,测量范围从nm水平到mm水平,实现纳米分辨率到亚微米分辨率,可测量不同类型的产品,适用于大轮廓形貌到微小形貌的多种应用需求。
v 产品特点
1.两种Z轴移动控制模式,压电陶瓷马达控制小量程和步进电机控制大量程,整体测量范围实现0.1nm~100mm;
2.小量程Z轴实现最大400um的测量范围,测量分辨率在PSI模式下0.1nm;
3.大量程Z轴实现最大100mm的测量范围,测量分辨率小于100nm;
4.Z轴方向移动的实现自动控制,通过相关软件和控制手柄可自动对焦,同时Z轴采用自动拼接技术,实现整体全自动测量;
5.标配压电陶瓷马达控制的Z轴测量头,样品垂直方向测量最大高度:400um,测量分辨率PSI模式:0.1nm,VSI模式:1nm;
6.可选配不同放大倍数的标准干涉物镜(2.5X,5X,10X, 20X,50X,100X);
配置控制和快速采集信号采集软件 SmartWLI_VIS。
最多添加5台