首先，特征X射线、俄歇电子的产生必须是在电子由高能级向低能级（外层向内层）跃迁释放能量（即必须是在弛豫过程产生的）所以价电子激发不会产生特征X射线、俄歇电子。
俄歇电子是一种特殊的二次电子，产生过程是内层电子被电离，而弛豫过程产生的是另外能级上电离的电子。
以下为引用网上资料：
“外层电子向内层跃迁过程中所释放的能量，可能以X光的形式放出，即产生特征X射线，也可能又使核外另一电子激发成为自由电子，这种自由电子就是俄歇电子。对于一个原子来说,激发态原子在释放能量时只能进行一种发射：特征X射线或俄歇电子。原子序数大的元素，特征X射线的发射几率较大，原子序数小的元素，俄歇电子发射几率较大，当原子序数为33时，两种发射几率大致相等。
如果电子束将某原子K层电子激发为自由电子，L层电子跃迁到K层，释放的能量又将L层的另一个电子激发为俄歇电子，这个俄歇电子就称为KLL俄歇电子。同样，LMM俄歇电子是L层电子被激发，M层电子填充到L层，释放的能量又使另一个M层电子激发所形成的俄歇电子。”

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