回复lily_hanchun发表于：2007/7/9 15:37:00悬赏金额：
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已解决
偶是一个微电子的研究生。组里面做了一张片子，针对SiGe合金，我们想测试一下。但是没有测过，还望各位测量高手帮帮忙！
首先，不知道我们的SiGe片子要怎么制样？切角的选取？另外，收费的情况是什么样的？全部都是以hour计时吗？那我们一张片子要耗几个小时呢？总共花费大概是多少呢？有些地方的TEM不太欢迎测SiGe材料，实在是很头痛。哪些地方会比较方便呢？
看到自己上一段很多的“？”，实在是很多东西不知道，还望大家帮帮忙！
千恩万谢！
原文由 lily_hanchun 发表:
先谢谢两位的指点！非常感谢！
我们主要是想看看界面缺陷，应力情况。其实我们学校（成都电子科大）也有TEM，但是坏了，不能用。上次在川大测了一个XRD，我们开始还是很放心的把片子交给他们，但是，由于操作人员的技术问题，弄出来的图片都没有衬底的Si峰，所以很担心。我不知道哪里做TEM弄得比较好，主要是要保险一点。如果各位知道，还望不惜赐教！小妹拜谢不已！ |
你在成都的话，可以去成都理工，我知道那里一定有TEM的。
XRD只能做晶体结构，想用它看缺陷可能办不到吧
要做截面还是平面？如果你自己不做TEM,就不要管制样了。
GeSi还是很受欢迎的，Strain 分析，成分分析，研究了很多了。
molybdenum 回复于：2007/7/17 22:13:00
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