昨天泄完真空，机械泵忘记关了，今早过来做实验直接报错无法抽真空。报错信息如图。工程师说是真空离子规坏了，后面又说不一定。大伙儿帮忙看看是离子规还是真空规出问题啦????[img=,690,133]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/11/202211181930251932_519_3964893_3.png[/img][img=,690,920]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/11/202211181930260395_842_3964893_3.png[/img]