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共有 13 人回复了该问答离子源清洗后无法调谐
 回复Insm_0d70eb52发表于：2020/9/3 10:05:26悬赏金额：15积分 状态：未解决
清洗离子源后就这样了！第一次拆，不知出什么问题了！零件都没少，调谐后就这样了！
 回复  1# v3141805  回复于：2020-09-03 11:25:26
应该是漏气，要么放空后重新抽真空，要么继续抽，时间久一点。一般洗完离子源抽真空最少也要2个小时以上，且真空度最低要求是10-5torr，不着急的要过夜抽真空，放空阀要拧紧。过一段时间后再试，或者你手动调谐看18，28，32的比例
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