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共有 4 人回复了该问答请问扩散泵的真空一般可以达到多少(mba)呢?
 回复jimzhu发表于:2020/7/26 9:58:25悬赏金额:14积分 状态:未解决
请问扩散泵的真空一般可以达到多少(mba)呢?
 回复  1# sdlzkw007  回复于:2020-07-26 22:30:25
油扩散泵是利用低压、高速和定向流动的油蒸气射流抽气的真空泵。这种泵的极限真空为10-4~10-5帕,工作压力范围为10-1~10-4帕,抽速范围为几十至十几万升/秒(1升=10-3米3)。油扩散泵是获得高真空的主要设备,广泛用于真空冶炼、真空镀膜、空间模拟试验和对油污染不敏感的一些真空系统中。
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