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共有 1 人回复了该问答射频溅射陶瓷靶表面有金属颗粒？
 回复Insm_d3cf2b75发表于：2020/6/15 13:17:58悬赏金额：2积分 状态：未解决
本人是研一新生，使用氧化饵陶瓷靶射频溅射氧化饵薄膜，但是溅射之后靶的表面有很多金属颗粒状物体于靶材表面，原因无从而知，希望大佬们能给些意见，谢谢你们！
 回复  1# Ins_27bb9ae0  回复于：2024-09-23 12:28:58
研一新生不容易呀。这种情况可能有几个原因呢。也许是溅射过程中的参数设置不太合适，比如功率、气压等。不合适的参数可能导致靶材表面出现异常。也有可能是靶材本身的质量问题，可能存在杂质或者不均匀的情况。你可以检查一下溅射设备的参数设置，看看是否符合标准操作。也可以和有经验的师兄师姐或者导师交流一下，看看他们有没有遇到过类似的情况。还可以考虑对靶材进行一些检测，确定其质量是否合格
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