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bairuizheng
发表于:2019/6/13 17:44:44
悬赏金额:
100积分
状态:
未解决
【序号】:1
【作者】:丁功明
【题名】:基于夏克—哈特曼传感器的波前检测关键技术研究
【年、卷、期、起止页码】: 合肥工业大学
【全文链接】:
http://kns.cnki.net/KCMS/detail/detail.aspx?dbcode=CMFD&dbname=CMFD201402&filename=1014218808.nh&v=MTg3MDhZZWRzRnk3bVVMck1WRjI2R3JHNUZ0bk1wNUViUElSOGVYMUx1eFlTN0RoMVQzcVRyV00xRnJDVVJMT2Y
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【序号】:2
【作者】:刘巍
【题名】:基于灵敏度解析函数的光刻机波像差检测理论与方法研究
【年、卷、期、起止页码】:华中科技大学
【全文链接】:
http://kns.cnki.net/kcms/detail/detail.aspx?filename=1012268131.nh&dbcode=CDFD&dbname=CDFD2012&v
=
【序号】:3
【作者】:冯胜
【题名】:波前检测技术的研究
【年、卷、期、起止页码】:电子科技大学
【全文链接】:
http://kns.cnki.net/kcms/detail/detail.aspx?filename=2009167409.nh&dbcode=CMFD&dbname=CMFD2009&v
=
【序号】:4
【作者】:刘虹.
【题名】:哈特曼—夏克方法在激光光束波前和光束质量检测中的应用研究.
【年、卷、期、起止页码】:北京工业大学 2001
【全文链接】:
http://kns.cnki.net/kcms/detail/detail.aspx?filename=2001011940.nh&dbcode=CMFD&dbname=CMFD2001&v
=
【序号】:5
【作者】: 楼腾
【题名】:基于Shack-Hartmann原理的激光波前探测技术研究.
【年、卷、期、起止页码】:华中科技大学 2017
【全文链接】:
http://kns.cnki.net/kcms/detail/detail.aspx?filename=1018803082.nh&dbcode=CMFD&dbname=CMFD2019&v
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1#
qq250083771
回复于:2019/6/13 17:53:38
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