【序号】：1
【作者】：丁功明
【题名】：基于夏克—哈特曼传感器的波前检测关键技术研究
【年、卷、期、起止页码】： 合肥工业大学
【全文链接】：http://kns.cnki.net/KCMS/detail/detail.aspx?dbcode=CMFD&dbname=CMFD201402&filename=1014218808.nh&v=MTg3MDhZZWRzRnk3bVVMck1WRjI2R3JHNUZ0bk1wNUViUElSOGVYMUx1eFlTN0RoMVQzcVRyV00xRnJDVVJMT2Y=
【序号】：2
【作者】：刘巍
【题名】：基于灵敏度解析函数的光刻机波像差检测理论与方法研究
【年、卷、期、起止页码】：华中科技大学
【全文链接】：http://kns.cnki.net/kcms/detail/detail.aspx?filename=1012268131.nh&dbcode=CDFD&dbname=CDFD2012&v=
【序号】：3
【作者】：冯胜
【题名】：波前检测技术的研究
【年、卷、期、起止页码】：电子科技大学
【全文链接】：http://kns.cnki.net/kcms/detail/detail.aspx?filename=2009167409.nh&dbcode=CMFD&dbname=CMFD2009&v=
【序号】：4
【作者】：刘虹.
【题名】：哈特曼—夏克方法在激光光束波前和光束质量检测中的应用研究.
【年、卷、期、起止页码】：北京工业大学 2001
【全文链接】：http://kns.cnki.net/kcms/detail/detail.aspx?filename=2001011940.nh&dbcode=CMFD&dbname=CMFD2001&v=
【序号】：5
【作者】： 楼腾
【题名】：基于Shack-Hartmann原理的激光波前探测技术研究.
【年、卷、期、起止页码】：华中科技大学 2017
【全文链接】：http://kns.cnki.net/kcms/detail/detail.aspx?filename=1018803082.nh&dbcode=CMFD&dbname=CMFD2019&v=