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共有 5 人回复了该问答想检测晶圆缺陷，分辨率要在200nm一下，有什么光学显微镜推荐呢，谢谢
 回复Insp_570eb60d发表于：2020/6/7 21:50:11悬赏金额：2积分 状态：未解决
不用AFM，有什么可以推荐呢
 回复  1# fengyonghe  回复于：2020-06-20 22:49:11
200nm的颗粒在1000倍以上可以用光学显微镜观察的到，建议用油目镜镜头在1000倍以上观察                                                                     
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