试一试掠入射的光路，最好寻找带有专门薄膜附件的仪器，这个各大品牌都有的，但是你所用的机器不一定会配置这个。
掠入射指的是X光以小角度（比如2deg或者0.5deg）等等入射样品，然后这个角度是固定不动的，而检测器大角度旋转收集衍射信号，选择合适的角度可以做到完全屏蔽基底的信号，这样来自薄膜的信号信噪比会比较好。
测试过程中注意两点：
1. 薄膜本身结晶不一定好，如果第一次做不出来，试一试退火后重新测试；
2. 薄膜薄膜，所以样品量肯定会比较少，扫描速度不要过快，否则小峰基本就拉平不见了。