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共有 1 人回复了该问答
FEI的TECNAI TEM和HITACHI的HD2700 STEM哪个更适合半导体硅基外延样品分析?
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kmkdragon
发表于:2020/8/13 20:36:18
悬赏金额:
15积分
状态:
未解决
主要用于半导体芯片的样品分析,为40 nm工艺,需要经常做纳米尺度的FA分析,需要HRTEM和元素mapping,请问FEI的TECNAI TEM和HITACHI的HD2700 STEM哪个更合适?JEOL的呢,听说其很便宜?
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回复
1#
coime
回复于:2020-08-16 09:13:18
场发射透射电镜应该都可以,mapping和能谱有关,hrtem和电镜的分辨率有关,关注TEM、STEM的分辨率,HAAD、ADF、ABFF等探头尽量多配上就行了
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