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共有 19 人回复了该问答
SEM中信号检测相关问题
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Insm_5225054a
发表于:2020/7/6 10:34:46
悬赏金额:
6积分
状态:
未解决
1.SEM中背散射电子转化成二次电子然后来检测,这种转化原理是什么?例如日立电镜。
2.ExB是日立SEM中用来检测SE而又不影响入射电子束的技术,那Super ExB是什么?有什么不同?
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回复
1#
fengyonghe
回复于:2020-07-08 05:02:46
1.二次电子能量与入射电子能量相同,激发任何物体都会产生二次电子
2.Super ExB可以调节图像中二次电子像所占的比例。la100是完全抑制二次电子,看的基本就是背散射,图像没有立体感。la0,是不抑制,二次和背散射都有,图像有立体感。
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