TEM的放大倍数要比SEM的高,当然两者的成像原理也是不同的，SEM是电子束激发出表面次级电子，而TEM则是穿透试样，所以TEM样品要求很薄,只有几十nm, TEM一般能放大几百万倍，而SEM只有几万倍。SEM通常看材料的缺口断面，TEM则可以观看材料的内部结构和形貌。
线扫描，用来表示某类元素的变化趋势，一般在相界面或过渡区进行线扫描，主要了解一条线上各个点的元素种类和含量；面扫描就是整个面的元素分布，可以用来估计合金组成或某些元素的富集区，主要了解元素的区域分布；线扫和面扫就是元素种类和含量的一维和二维显示，只能定性的分析元素的分布情况，点扫比线扫和面扫更准确，可基本定量分析元素。
以上介绍比较简单，楼主可以找相关书详情了解一下
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